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科學(xué)識別并及時解決萊寶SP630真空泵故障是保障工藝穩(wěn)定的關(guān)鍵

點擊次數(shù):13 更新時間:2025-11-04
   在半導(dǎo)體制造、化工蒸餾、制藥凍干及實驗室高真空系統(tǒng)中,萊寶SP630真空泵因其無油污染、免維護、耐腐蝕等優(yōu)勢。它通過螺桿、爪式或渦旋等非接觸式結(jié)構(gòu)實現(xiàn)抽氣,保障潔凈真空環(huán)境。然而,在長期運行中,受工藝氣體、顆粒物或操作不當影響,常出現(xiàn)抽速下降、過熱報警、異響甚至卡死等問題。科學(xué)識別并及時處置萊寶SP630真空泵出現(xiàn)的故障,是延長其壽命、保障工藝穩(wěn)定的關(guān)鍵。

 


  問題一:極限真空度達不到或抽氣速度明顯變慢
  原因:泵腔積垢、排氣過濾器堵塞、進氣口濾網(wǎng)臟污或密封間隙因磨損增大。
  對策:定期清理進氣濾網(wǎng)與排氣消音器濾芯(建議每500-1000小時)。若處理含溶劑或可凝氣體,需啟用氮氣吹掃或定期高溫烘烤泵腔(按廠家程序)。嚴重積碳或聚合物沉積時,需專業(yè)拆洗轉(zhuǎn)子與殼體。
  問題二:運行溫度過高,頻繁觸發(fā)過熱保護停機
  原因:冷卻系統(tǒng)故障、環(huán)境溫度過高、排氣背壓過大或泵超負荷運行。
  對策:檢查冷卻水流量與溫度(水冷型)或散熱風(fēng)扇運轉(zhuǎn)(風(fēng)冷型)。確保排氣管路暢通,避免彎頭過多或止回閥失效導(dǎo)致背壓升高。避免長時間在極限真空下空載運行,合理匹配前級泵與工藝需求。
  問題三:異常噪音或振動加劇
  原因:轉(zhuǎn)子碰擦、軸承磨損、聯(lián)軸器不對中或地腳螺栓松動。
  對策:立即停機檢查。若為螺桿或爪式泵,異響多源于轉(zhuǎn)子間隙過小或異物進入,需專業(yè)檢修。校正電機與泵軸同軸度,緊固安裝螺栓。定期監(jiān)測振動值,建立趨勢預(yù)警。
  問題四:泵腔內(nèi)出現(xiàn)腐蝕或銹蝕
  原因:處理含氯、氟、酸性等腐蝕性氣體,且未采取防護措施。
  對策:根據(jù)工藝氣體性質(zhì)選配耐腐蝕涂層(如哈氏合金、鎳磷鍍層)或全不銹鋼泵體。運行后執(zhí)行氮氣purge程序,清除殘留腐蝕性介質(zhì)。嚴禁抽吸液態(tài)水或高濕度氣體。
  問題五:啟動困難或電機跳閘
  原因:泵腔內(nèi)積液/積垢導(dǎo)致轉(zhuǎn)子卡滯、電源電壓不穩(wěn)或電機故障。
  對策:手動盤車檢查是否靈活,若卡死需拆解清理。確認供電電壓符合要求(±10%)。檢查熱繼電器或變頻器參數(shù)是否匹配電機功率。
  問題六:泄漏率升高,真空保持能力下降
  原因:機械密封老化、O型圈硬化或法蘭連接松動。
  對策:定期更換軸封與密封圈(建議每1-2年)。使用氦質(zhì)譜檢漏儀定位微小泄漏點,重新緊固連接件并涂抹真空脂。
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